一、平行度和平面度定义是：

平行度指两平面或者两直线平行的程度，指一平面或边相对于另一直线或边平行的误差最大允许值。平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。

二、平面度误差的评定方法有三远点法、对角线法、最小二乘法、最小区域法四种。

三、平行度评价直线之间、平面之间或直线与平面之间的平行状态。其中一个直线或平面是评价基准，而直线可以是被测样品的直线部分或直线运动轨迹，平面可以是被测样品的平面部分或运动轨迹形成的平面。

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